露點儀對SF6氣體測試要使被測氣體在恒定壓力下，以一定流量流經露點儀測量室中的拋光金屬鏡面，該鏡面的溫度可人為地降低并可地測量。當氣體中的水蒸氣隨著鏡面溫度的逐漸降低而達到飽和時，鏡面上開始出現露（或霜），此時所測得的鏡面溫度即為露點。用相應的換算式或查表即可得到用體積比表示的濕度。

　　露點儀通常采用熱電效應制冷，由光電傳感器檢測露的生成與消失，并控制熱電泵的制冷功率，用緊貼在冷鏡下方的鉑電阻溫度傳感器測量溫度。在測量室內，由光源照射到冷鏡表面的光經反射后，被光電傳感器接受并輸出電信號到控制回路，驅動熱電泵對冷鏡制冷。當鏡面出露時，由于漫反射而使光電傳感器接受的光強減弱，輸出的電信號也相應減弱，此變化經控制回路比較、放大后調節熱電泵激勵，使其制冷功率減小，鏡面溫度將上升而消露。

　　如此反復，終使鏡面溫度保持在氣體的露點溫度上。通過鏡面冷凝狀態觀察鏡，可以判斷鏡面上的冷凝物是液態的露（呈圓或橢圓形）還是固態的霜（呈晶形）。光電露點儀有相當高的準確度和精密度，操作簡單方便，獲得了廣泛的應用。

　　露點儀測SF6氣體濕度的步驟：

　　1.連接好待測設備的取樣口和儀器進氣口之間的管路，確保所有接頭處均無泄漏。

　　2.調節待測氣體流量至規定范圍內。由于氣體露點與其流量沒有直接關系，所以流量不作嚴格要求，按說明書要求控制在一定范圍內即可。

　　3.對光電露點儀，打開測量開關，儀器即開始自動測量。待觀察到鏡面上的冷凝物或出露指示器指示已出露；且露點示值穩定后，即可讀數。